|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ПЛАЗМЕННЫЙ ИОННЫЙ ИСТОЧНИК |  |
Номер публикации патента: 2083020 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01J027/02 H01J049/26 | | Аналоги изобретения: | 1. Grau A.L. Ind i Ktiveli conpled cource mass spectrometri. In "Inorganic mass spectrometri", ed. Sy Adams F., Gijbels R., Van GrieKen R., Willey A. - Interscience Puslication, 1988, 404. 2. Glow Discharge Spectroscopies. Ed. Sy R.Kennet Marcus. Plenum Press New York and London, 1993, 363. |
| Имя заявителя: | Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН | | Изобретатели: | Сихарулидзе Г.Г.
Лежнев А.Е. | | Патентообладатели: | Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН |
Реферат | |
Использование: электронная техника и аналитическая химия. Задача: повышение чувствительности анализа жидкостей и газов с одновременным упрощением и улучшением аппаратурного оформления. Сущность изобретения: плазменный ионный источник содержит разрядную камеру с входной щелью, по центральной оси которой через изолятор размещено устройство для подачи рабочего вещества, которое выполнено в виде капилляра. Источник высокого напряжения соединен с капилляром и с камерой. 1 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента