|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ЭНЕРГОМАСС - СПЕКТРОМЕТР ВТОРИЧНЫХ ИОНОВ |  |
Номер публикации патента: 2020645 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01J049/32 | | Аналоги изобретения: | Авторское свидетельство СССР N 957317, кл. H 01J 49/31, 1981. |
| Имя заявителя: | Никитенков Николай Николаевич | | Изобретатели: | Никитенков Н.Н.
Косицын Л.Г.
Шулепов И.А. | | Патентообладатели: | Никитенков Николай Николаевич |
Реферат | |
Использование: энергомасс-спектрометр вторичных ионов относится к приборам для диагностики поверхности ионными пучками, предназначен для определения химического и элементного состава поверхностных слоев металлов и полупроводников. Сущность изобретения: в устройстве предлагается оригинальное решение организации двух ионно - оптических каналов, в котором одни и те же элементы ионно - оптической системы задействованы под разные измерения на входе и выходе 180°-ного энергоанализатора, дополнительно у
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента