На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»

Вернуться к списку

СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ВЛАГИ В КОРПУСЕ МИКРОСХЕМЫ

Номер публикации патента: 1686969

Вид документа:  A1  Страна публикации:  SU  Рег. номер заявки:  4358279		Получить полное описание патента

Реферат

Изобретение относится к производству полупроводниковых приборов и микросхем и может быть использовано при разрушающих методах контроля влажности внутри корпусов интегральных схем. Целью изобретения является упрощение анализа, что достигается путем обеспечения возможности безэталонного анализа. Устройство для осуществления способа содержит камеру 1 разгерметизации, загрузочное окно 2, вакуумный вентиль 3, вакуумный вентиль 4, датчик 5 давления, квадрупольный датчик 6 масс-спектрометра, вакуумный вентиль 7, аналитическую камеру 8, ионный насос 9, вакуумный шибер 10, натекатель 11, анализируемый корпус 12, второй вакуумный шибер 13, вакуумный насос 14, иглу 15 для прокаливания корпуса микросхемы, вакуумный вентиль 16, датчик давления 17 и систему 18 обогрева вакуумных камер. 3 ил.

Вернуться к списку