На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»

Вернуться к списку

СПОСОБ АНАЛИЗА МАТЕРИАЛОВ МЕТОДОМ ВТОРИЧНОЙ ИОННОЙ МАСС - СПЕКТРОМЕТРИИ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ

Номер публикации патента: 1306396

Вид документа:  A1  Страна публикации:  SU  Рег. номер заявки:  3960869		Получить полное описание патента

Реферат

Изобретение относится к электровакуумной и газоразрядной электронике и может быть использовано для исследования и контроля веществ масс-спектрометрическим методом путем обнаружения малых концентраций примесей в веществах. Целью изобретения является повышение чувствительности анализа материалов методом вторичноионной масс-спектрометрии и воспроизводимости результатов анализа. Поставленная цель достигается тем, что согласно способу на анализируемую мишень направляют первичный ионный поток. Вторичные ионы регистрируются масс-спектрометром. Внутрь вакуумной камеры в зону анализа направляют регулируемый по величине молекулярный поток из ячейки химически активного газа. Затем поглощают газ до общего давления в области образца на порядок ниже, чем во всей камере. Контролируемое парциональное давление поддерживают согласно математическому соотношению, приведенному в формуле изобретения. Устройство для осуществления способа содержит аналитическую камеру 1, образец 2 для анализа, источник ионов 3, масс-спектрометр 4, насос 5, ячейку 6 Кнудсена, нагреватель 7, термопару 8, газопоглотитель 9, нагреватель 10, термопару 11, термоэмиттер 12 электронов, блок 13 питания и дифференциальный усилитель 14. 2 с.п.ф-лы, 2 ил.

Вернуться к списку