На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»

Вернуться к списку

Геттероионный насос

Номер публикации патента: 2005324

Вид документа:  C1  Страна публикации:  RU  Рег. номер заявки:  04880806		Получить полное описание патента

Реферат

Использование: в средствах получения высокого и сверхвысокого вакуума, в частности в областях, где для обеспечения рабочего процесса необходим безмасляный вакуум. Сущность изобретения: 2 геттерно-ионный насос содержит корпус, внутри которого расположены прямонзкальный катод, ионизатор в виде тонкого стержня и источник питания В корпусе устанавливаются импульсные дуговые испарители, питание на дуговые испарители и анод подается попеременно, причем продолжительность импульса разряда дугового испар

Вернуться к списку