RU 2173911 С2, 20.09.2001. RU 2240376 С1, 20.11.2004. RU 2238999 C1, 27.10.2004. JP 2003313660 A, 06.11.2003. US 6231956 B1, 15.05.2001.
Имя заявителя:
КРИПСЕРВИС САРЛ (CH)
Изобретатели:
ЧИЗИК Анна Андреевна (CH) МИХАЙЛОВ Алексей Сергеевич (CH)
Патентообладатели:
КРИПСЕРВИС САРЛ (CH)
Приоритетные данные:
03.08.2006 EP 060162249.2
Реферат
Настоящее изобретение относится к способу и устройству для нанесения покрытия из алмазоподобного углерода с толщиной слоя от 20 до 1500 нанометров преимущественно на сверла, фрезы, лезвия и т.п. Предложенный способ включает этапы: i) предоставления подложки, содержащей материал, который имеет сродство с углеродом, ii) очистки поверхности подложки, iii) напыления на поверхность слоя, содержащего металл, iv) ионной бомбардировки поверхности с покрытием, v) напыления слоя углерода на поверхность, а предложенное устройство согласно изобретению имеет несколько реакционных камер, расположенных в ряд, через которые перемещают кассету с обрабатываемым инструментом. Кроме того, настоящее изобретение относится к покрытию с алмазоподобным слоем, нанесенным на подложку, имеющую слой титана, причем слой углерода и слой титана частично находят друг на друга и слой углерода имеет градиент концентрации атомов углерода от 0 до 100%. Повышение производительности способа, а также увеличение твердости и однородности полученного покрытия из алмазоподобного углерода являются техническим результатом изобретения. 3 н. и 30 з.п. ф-лы, 5 ил.