RU 2069412 C1, 20.11.1996. RU 2154266 C1, 10.08.2000. RU 2377539 C1, 27.12.2009. UA 149434, 04.03.1997. WO 2007129897 А, 15.11.2007. WO 2005057142 A1, 23.06.2005.
Имя заявителя:
Жданов Глеб Сергеевич (RU)
Изобретатели:
Жданов Глеб Сергеевич (RU)
Патентообладатели:
Жданов Глеб Сергеевич (RU)
Реферат
Изобретение относится к растровой электронной микроскопии и может быть использовано для неразрушающего послойного тестирования образцов, в частности изделий микро- и наноэлектроники. В изобретении используется способность обратнорассеянных электронов (ОРЭ) вызывать осаждение молекул остаточных углеводородов, адсорбированных на поверхности образца. При облучении образца стационарным сфокусированным электронным пучком вокруг точки падения пучка образуется углеродное кольцо. Диаметр кольца зависит от состава, толщины и глубины залегания слоев, пересекаемых ОРЭ. Эта зависимость лежит в основе томографического анализа. Кольцо является аналогом спектральной метки - индивидуальной характеристики образца. Положение метки на поверхности образцов с варьируемой послойной структурой прослеживается на модели. При изменении ускоряющего напряжения в анализ вовлекаются слои, находящиеся на различной глубине. Длина пробега электронов в образце определяется по измерениям углеродных колец, образующихся на поверхности при различных углах наклона к оси пучка. Показана возможность различения массивных подложек, в том числе кремния и арсенида галлия, под двухслойным покрытием с разрешением по глубине не хуже 10100 нм. Разрешение по горизонтали в зависимости от ускоряющего напряжения меняется в пределах от нескольких микрометров до нескольких сотен нанометров. Технический результат - повышение достоверности и точности обработки результатов измерений. 4 з.п. ф-лы, 4 табл., 12 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента