WO 2004073009 А2, 26.08.2004. WO 2005010228 А2, 03.02.2005. EP 1178134 A1, 06.02.2002. SU 1491249 A1, 15.12.1994.
Имя заявителя:
ЦИГЕР Петер (AT), АЙЗЕЛЬТ Примож (SI)
Изобретатели:
ЦИГЕР Петер (AT) АЙЗЕЛЬТ Примож (SI)
Патентообладатели:
ЦИГЕР Петер (AT) АЙЗЕЛЬТ Примож (SI)
Приоритетные данные:
12.09.2005 AT A1496/2005
Реферат
Изобретение относится к плазменной обработке с применением "плазмы тлеющего разряда" и используется для поверхностной обработки на большой площади заготовок или бесконечных материалов. Установка для плазменной обработки бесконечного материала (1) содержит, по меньшей мере, одну вакуумируемую разрядную камеру (3а), через которую бесконечный материал может непрерывно транспортироваться. Снабжающее энергией устройство (30) подает электрическую разрядную энергию к разрядным промежуткам (G) между внешним электродом (5, 51-57) соответствующей разрядной камеры и бесконечным материалом в качестве внутреннего электрода. Снабжающее энергией устройство представляет собой выполненный с возможностью импульсной подачи разрядной энергии собственный источник тока, который имеет, по меньшей мере, один элемент (32) индуктивности в качестве аккумулятора энергии, совместно включающийся с согласованным с ним разрядным промежутком (G) или последовательно с несколькими согласованными с ним разрядными промежутками. Технический результат - повышение вводимой мощности и однородности обработки, возможность последовательного включения нескольких разрядных камер без промежуточного контактирования бесконечного материала. 23 з.п. ф-лы, 14 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента