RU 2167466 С1, 20.05.2001. RU 2299489 С1, 20.05.2007. RU 2231163 С1, 20.06.2004. US 6130507 A, 10.10.2000. JP 58186139 А, 31.10.1983.
Имя заявителя:
Вавилин Константин Викторович (RU), Кралькина Елена Александровна (RU), Павлов Владимир Борисович (RU), Ко Сеок Кеун (KR), Ли Чеол Су (KR)
Изобретатели:
Вавилин Константин Викторович (RU) Кралькина Елена Александровна (RU) Павлов Владимир Борисович (RU) Ко Сеок Кеун (KR) Ли Чеол Су (KR)
Патентообладатели:
Вавилин Константин Викторович (RU) Кралькина Елена Александровна (RU) Павлов Владимир Борисович (RU) Ко Сеок Кеун (KR) Ли Чеол Су (KR)
Реферат
Изобретение относится к плазменной технике, а именно к плазменным источникам, предназначенным для генерации интенсивных ионных пучков. Плазменный источник ионов содержит катодную камеру (1), снабженную патрубком (2) ввода газа. На внешней стенке катодной камеры (1) установлены трубки (10) принудительной системы охлаждения. Полый анод (3) образует анодную камеру (4) источника ионов. В выходном отверстии анодной камеры (4) размещен эмиссионный электрод (11) системы извлечения ионов. Между катодной и анодной камерами установлен дополнительный электрод (5), в котором выполнены отверстия (9). Диаметр d отверстий (9) выбран из условия 0,1 мм