ЕР 0878565 A1, 18.11.1998. WO 2004101844 А1, 25.11.2004. ЕР 0535568 А1, 07.04.1993. RU 2161662 С2, 10.01.2001.
Имя заявителя:
АРСЕЛОРМИТТАЛЬ ФРАНС (FR)
Изобретатели:
КОРНИЛЬ Юг (BE) ДЕВЕЕР Бенуа (BE) МАБОГ Клод (BE)
Патентообладатели:
АРСЕЛОРМИТТАЛЬ ФРАНС (FR)
Приоритетные данные:
07.11.2005 EP 05292355.4
Реферат
Изобретение относится к травлению в вакууме при помощи магнетронного распыления. Способ заключается в распылении металлической полосы (2), движущейся над, по меньшей мере, одним противоэлектродом (3,3,7) из проводящего материала в вакуумной камере (1), в которой создают плазму в газе вблизи металлической полосы (2) таким образом, чтобы образовывались радикалы и/или ионы, действующие на эту металлическую полосу (2), при этом над металлической полосой (2) размещают удерживающую магнитную цепь (4). Противоэлектрод (3,3,7) содержит подвижную поверхность, перемещающуюся путем вращения и/или при поступательном движении относительно металлической полосы (2), при этом указанная поверхность приводится в движение во время травления и непрерывно очищается при помощи устройства (5,5, 10) очистки, установленного за пределами действия плазмы, перед тем, как снова подвергнуться воздействию плазмы. Технический результат - повышение качества и эффективности травления при непрерывном процессе. 2 н. и 15 з.п. ф-лы, 3 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента