US 6026763 A, 22.02.2000. US 5433836 А, 18.07.1995. RU 2110606 C1, 10.05.1998. CA 1193998 A, 24.09.1985. US 5429705 A, 04.07.1995. JP 55062164 A, 10.05.1980.
Имя заявителя:
Закрытое акционерное общество "Институт инженерии поверхности" (UA)
Изобретатели:
Аксенов Иван Иванович (UA) Стрельницкий Владимир Евгеньевич (UA) Васильев Владимир Васильевич (UA) ВОЕВОДИН Андрей А. (US) ДЖОУНС Джон Г. (US) ЗАБИНСКИ Джеффри С. (US)
Патентообладатели:
Закрытое акционерное общество "Институт инженерии поверхности" (UA)
Приоритетные данные:
21.10.2003 US 10/693,482
Реферат
Изобретение относится к источнику фильтрованной плазмы вакуумной дуги (варианты) и способу создания фильтрованной плазмы. Фильтрование плазмы осуществляется в фильтре с изогнутым под прямым углом плазмоводом, снабженным, по крайней мере, тремя дополнительными магнитными катушками, размещенными в области изгиба плазмовода. Эти магнитные катушки и другие элементы фильтра, включая систему поперечных ребер и магнитную ловушку остроугольной геометрии в плазмоведущем канале, обеспечивают необходимую эффективность прохождения плазмы через фильтр, снижение потерь плазмы и пониженный выход нежелательных частиц из плазменного фильтра. Согласно другим вариантам источник имеет несколько катодов, несколько выходных отверстий. 4 н. и 27 з.п. ф-лы, 24 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента