|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ПРЕДМЕТНЫЙ СТОЛИК |  |
Номер публикации патента: 2310218 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G02B021/26 H01J037/20 | | Аналоги изобретения: | QUINONES H., BABIARZ A. AND HEADQUARTERS A. FLIP-CHIP, CSP AND WLP TECHNOGIES: A RELIABILITI PERSPECTIVE A HISTORICAL PERSPECTIVE, IMARS NORDIC, SEPTEMBER 2001. JP 8005526 A, 12.01.1996. GB 1151330 A, 07.05.1969. SU 1619356 A1, 07.01.1991. |
| Имя заявителя: | Институт физики полупроводников Сибирского отделения Российской академии наук (RU) | | Изобретатели: | Ефимов Валерий Михайлович (RU) | | Патентообладатели: | Институт физики полупроводников Сибирского отделения Российской академии наук (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к области микроэлектронной техники и может быть использовано при разработке технологического и тестового оборудования. Изобретение направлено на обеспечение возможности фиксировать на одном и том же предметном столике образцы различного размера и конфигурации без ухудшения предельно допустимых усилий сдвига, при этом на несколько порядков уменьшаются прогибы образцов под вакуумными областями, что позволяет работать с утоненными образцами.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента