На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
ЭЛЕКТРОМАГНИТНЫЙ ФИЛЬТР ДЛЯ РАЗДЕЛЕНИЯ ЭЛЕКТРОННЫХ ПУЧКОВ | |
Номер публикации патента: 2305345 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | H01J037/147 H01J037/28 | Аналоги изобретения: | М.Kienle, E.Plies, 'An off-axis multichannel analyzer for secondary electrons' // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Sec A, V 519, 1-2 Feb 2004, p.325. RU 2039394 C1, 09.07.1995. RU 2055414 C1, 27.02.1996. US 6784425 В1, 31.08.2004. US 5444243 A1, 22.08.1995. |
Имя заявителя: | Федеральное государственное унитарное предприятие "НПО "ОРИОН" (ФГУП "НПО "ОРИОН") (RU) | Изобретатели: | Гайдукова Инна Семеновна (RU) Гринфельд Дмитрий Эдуардович (RU) Розенфельд Леонид Борисович (RU) | Патентообладатели: | Федеральное государственное унитарное предприятие "НПО "ОРИОН" (ФГУП "НПО "ОРИОН") (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к растровой электронной микроскопии и, в частности, к электромагнитным фильтрам, предназначенным для пространственного разделения пучков первичных и вторичных электронов. Фильтр содержит восемь секторных электродов, расположенных внутри цилиндра, выполненного из диэлектрического и немагнитного материала.
|