|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| РАСПЫЛИТЕЛЬНЫЙ КАТОД ДЛЯ ПРОЦЕССОВ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ |  |
Номер публикации патента: 2283367 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C23C014/35 H01J037/34 | | Аналоги изобретения: | DE 4301516 A, 28.07.1994. RU 2218450 C2, 10.12.2003. RU 2058428 C2, 20.04.1996. RU 2193074 C2, 20.11.2002. RU 1832760 A1, 27.08.1996. DE 1962205 A, 11.12.1997. ЕР 0476652 А, 25.03.1992. DE 19622606 A, 11.12.1997. |
| Имя заявителя: | АПЛАЙД ФИЛМС ГМБХ УНД КО. КГ (DE) | | Изобретатели: | УЛРИХ Юрген (DE)
ЗАУЕР Петер (DE) | | Патентообладатели: | АПЛАЙД ФИЛМС ГМБХ УНД КО. КГ (DE) |
Реферат | |
Изобретение относится к области металлургии, в частности к распылительному катоду для процессов нанесения покрытий в вакуумной камере, и может найти применение в машиностроении при изготовлении изделий с нанесенным покрытием. Катод содержит, по меньшей мере, одну цельную мишень (2), смонтированную на металлической мембране (3).
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента