|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ НАНОРЕЛЬЕФА ПОДЛОЖКИ |  |
Номер публикации патента: 2280853 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G01N013/12 H01J037/28 | | Аналоги изобретения: | RU 2092863 C1, 10.10.1997. RU 2175761 С2, 10.11.2001. SU 1778820 A1, 30.11.1992. RU 2047930 C1, 10.11.1995. |
| Имя заявителя: | Государственное образовательное учреждение высшего профессинального образования Московский государственный институт электроники и математики (Технический Университет) (RU) | | Изобретатели: | Ивашов Евгений Николаевич (RU)
Степочкин Андрей Андреевич (RU)
Кузькин Владимир Иванович (RU) | | Патентообладатели: | Государственное образовательное учреждение высшего профессинального образования Московский государственный институт электроники и математики (Технический Университет) (RU) |
Реферат | |
Использование для определения нанорельефа подложки, выполненной из диэлектрического или полупроводникового материала. Сущность: основной зонд устанавливают под углом 55°-65° к подложке, вводят дополнительный зонд, который также устанавливают под углом 55°-65° к подложке и под углом 60°-70° к основному зонду.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента