На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОСАЖДЕНИЯ ДВУХОСНО ТЕКСТУРИРОВАННЫХ ПОКРЫТИЙ | |
Номер публикации патента: 2224050 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | C23C014/35 H01J037/34 | Аналоги изобретения: | DE 4333022 А, 30.03.1995. RU 2032766 С1, 10.04.1995. SU 1665717 А1, 09.02.1995. SU 1697453 A1, 20.11.1995. RU 1760776 С1, 30.08.1994. SU 1832760 А, 27.08.1996. |
Имя заявителя: | Н.В.Бекарт С.А. (BE) | Изобретатели: | ДЕ ГРИЗ Роже (BE) ДЕНЮЛЬ Юрген (BE) | Патентообладатели: | Н.В.Бекарт С.А. (BE) |
Реферат | |
Изобретения относятся к технологии осаждения двухосно текстурированных покрытий и может найти применение в различных отраслях машиностроения. Двухосное текстурирование вызывают бомбардировкой во время осаждения частицами высокой энергии под специально управляемым углом. Для осаждения двухосно текстурированных покрытий на подложку (6) используют одно или более магнетронных распылительных устройств (1), генерирующих как поток осаждаемого материала, так и поток (5) частиц высокой энергии с управляем
|