|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ИОННОГО ЛУЧА |  |
Номер публикации патента: 2219618 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01J027/14 H01J037/28 | | Аналоги изобретения: | ЧЕРНЯЕВ В.Н. Технология производства интегральных микросхем и микропроцессоров. - М.: Радио и связь, 1987, с.310. RU 2176681 С1, 10.12.2000. JP 11-238486, 31.08.1999. JP 2001-289982, 19.10.2001. US 5393985 А, 28.02.1995. |
| Имя заявителя: | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Московский государственный институт электроники и математики (технический университет) | | Изобретатели: | Ивашов Е.Н.
Львов Б.Г.
Степанчиков С.В. | | Патентообладатели: | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Московский государственный институт электроники и математики (технический университет) |
Реферат | |
Изобретение относится к электронике, а более конкретно к способам получения ионного луча. Технический результат - повышение сфокусированности луча при малой интенсивности ионного луча прямолинейной направленности. Поток электронов и первичный ионный луч создают от мишени к зонду путем последовательного воздействия прямым электрическим, магнитным и обратным электрическим полями, затем между мишенью и зондом устанавливают подложку и вновь воздействуют прямым электрическим полем, причем мишень и под
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента