На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СКАНИРУЮЩИЙ ТУННЕЛЬНЫЙ МИКРОСКОП | |
Номер публикации патента: 2218629 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | H01J037/285 | Аналоги изобретения: | SU 1709429 A1, 30.01.1992. SU 1833046 A1, 20.10.1996. RU 2089968 C1, 10.09.1997. DE 4405292, 22.06.1995. EP 0487300, 27.05.1992. |
Имя заявителя: | Институт прикладной механики УрО РАН | Изобретатели: | Липанов А.М. Шелковников Е.Ю. Гуляев П.В. Кизнерцев С.Р. Осипов Н.И. Тюриков А.В. Коротаев М.Н. Чухланцев К.А. | Патентообладатели: | Институт прикладной механики УрО РАН |
Реферат | |
Изобретение относится к области научного приборостроения и может быть использовано для получения топографии проводящих поверхностей, а также для изучения физико-технологических свойств твердых тел. Технический результат - повышение производительности и надежности измерений при увеличении точности и быстродействия устройства, снижение чувствительности к внешним вибрациям.
|