|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ЭЛЕКТРОД КАМЕРЫ ОБРАБОТКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН И СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2212077 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01J037/32 | | Аналоги изобретения: | US 5593540 А, 14.01.1997. RU 2030849 С1, 10.03.1995. RU 2029411 С1, 20.02.1995. RU 93008861 А, 20.04.1995. RU 2052002 С1, 10.01.1996. US 5534751 А, 09.07.1997. ЕР 0821395 А, 28.01.1998. |
| Имя заявителя: | ЛАМ РЕСЁРЧ КОРПОРЕЙШН (US) | | Изобретатели: | КУТИ Андрас (US)
ЛИ Лумин (US) | | Патентообладатели: | ЛАМ РЕСЁРЧ КОРПОРЕЙШН (US) |
Реферат | |
Изобретение относится к области электротехники, в частности к системам технологической обработки полупроводниковых пластин путем плазменного травления. В состав системы входит технологическая камера, которая включает устройство фиксации полупроводниковой пластины для крепления полупроводниковой пластины и пару источников радиоволнового излучения.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента