|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЗАЖИМА ЭЛЕКТРОДА, СПОСОБ ЕГО СБОРКИ И ИСПОЛЬЗОВАНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2163044 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01J037/32 | | Аналоги изобретения: | EP 0210605 A2, 04.02.1987. US 4960488 A, 02.10.1990. US 5370739 A, 06.09.1994. WO 9221136 A1, 21.01.1992. RU 2030849 C1, 31.03.1992. |
| Имя заявителя: | ЛЭМ РИСЕРЧ КОРПОРЕЙШН (US) | | Изобретатели: | Эрик Х. ЛЕНЦ (US)
Майкл Л. КАЛВИЗИ (US)
Иво А. МИЛЛЕР (US)
Роберт А. ФРЕЙЗЕР (US) | | Патентообладатели: | ЛЭМ РИСЕРЧ КОРПОРЕЙШН (US) | | Номер конвенционной заявки: | 08/445,292 | | Страна приоритета: | US |
Реферат | |
Изобретение относится к устройству для плазменной обработки полупроводниковых пластин, а более конкретно - к устройству для зажима электрода, в котором электрод упруго зажимают в опорном узле. Данное устройство состоит из опорного элемента, имеющего нижнюю поверхность, обращенную к пластине, которую будут обрабатывать в реакционной камере электрода, имеющего нижнюю поверхность, обращенную к пластине, верхнюю поверхность внешней кромки, обращенную к нижней поверхности опорного элемента, и зажимного элемента, входящего в зацепление с внешней кромкой электрода, причем зажимной элемент упруго прижимает электрод к опорному элементу. Указанные признаки позволяют обеспечить более высокую степень плоскостности от центра к внешней периферии электрода при поддержании линий критических размеров в пределах заданных ограничений. Изобретение также относится к способу сборки устройства электрода и процессу травления пластины с помощью устройства электрода. 3 с. и 26 з.п. ф-лы, 8 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента