|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СКАНИРУЮЩИЙ ЗОНДОВЫЙ МИКРОСКОП |  |
Номер публикации патента: 2152063 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G02B021/00 H01J037/28 | | Аналоги изобретения: | DE 4405292 С1, 22.06.1995. RU 2124251 С1, 27.12.1998. US 5468959 21.11.1995. US 5753912 А, 19.05.1998. |
| Имя заявителя: | ЗАО "НТ-МДТ" | | Изобретатели: | Быков В.А. | | Патентообладатели: | ЗАО "НТ-МДТ" |
Реферат | |
Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию, к устройствам, обеспечивающим наблюдение, измерение и модификацию поверхности в многоигольчатом комплексном режиме работы. В сканирующем зондовом микроскопе, содержащем держатель объекта, сопряженный со сканером и устройством подвода, держатель зонда с пьезомодулем, механически сопряженный с зондом, а также источник излучения и приемник излучения, оптически сопряженные с зондом, введен трехкоординатный привод держателя зонда, зонд выполне
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента