На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ УГЛОВЫХ РАСПРЕДЕЛЕНИЙ ПУЧКА ИОНОВ | |
Номер публикации патента: 2129318 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | H01J037/08 G01T001/17 | Аналоги изобретения: | US 4260897 A, 07.04.81. RU 95109230 A1, 27.12.96. RU 2019884 C1, 15.09.94. GB 2137409 A, 03.10.84. |
Имя заявителя: | Ведьманов Григорий Дорофеевич,Мухаметдинов Игорь Раитович,Хохлов Константин Олегович | Изобретатели: | Ведьманов Г.Д. Мухаметдинов И.Р. Хохлов К.О. | Патентообладатели: | Ведьманов Григорий Дорофеевич Мухаметдинов Игорь Раитович Хохлов Константин Олегович |
Реферат | |
Устройство для измерения угловых распределений пучка ионов используется для исследований в области физики ион-атомных столкновений, преимущественно в исследованиях взаимодействия пучка ионов с монокристаллической или газовой мишенью, а также может использоваться при легировании поверхностей ионным пучком.
|