|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПРОВЕДЕНИЯ НАНОТЕХНОЛОГИЧЕСКОЙ РЕАКЦИИ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2121730 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01J037/04 B01J019/00 B01J019/08 G01N037/00 | | Аналоги изобретения: | Mc.Cord M.A. et al. Direct deposition of 10-nm metallic features with the scanning tunneling microscope, Journal Vac. Sci. Technol. B (6) (6) Nov./Dec., 1988, 1877 - 1879. Вернер В.Д. и др. Формирование функциональных структур с помощью туннельного микроскопа. Электронная промышленность. - 1991, N 3, с.33. US 5446720 A, 29.08.95. US 5047633 A, 10.09.91. US 4910376 A, 20.03.90. FR 2322826 A, 02.09.76. US 5497000 A, 05.03.96. SU 1751826 A1, 30.07.92. SU 452355 A, 03.04.75. |
| Имя заявителя: | Открытое акционерное общество Объединение "Мастер" | | Изобретатели: | Лускинович П.Н. | | Патентообладатели: | Открытое акционерное общество Объединение "Мастер" |
Реферат | |
Изобретение относится к нанотехнологии. Способ включает подачу вещества в зону реакции, расположенную между электродами, подачу энергии в зону реакции, локальную активацию вещества и прием продуктов реакции, который осуществляют на их выходе за пределы зоны реакции. При этом пространственное распределение энергии и ее величина в областях зоны реакции, прилегающих к каждому из электродов, по существу одинаковы. Устройство содержит два электрода, каждый из которых выполнен в виде острия, средство возбуждения и средство для приема продуктов реакции, которое пространственно отделено от острий. Острия установлены с межэлектродным зазором, имеющим нанотехнологические размеры. Технический результат - обеспечение стабильных характеристик нанотехнологического процесса и расширение функциональных возможностей устройства. 2 с. и 18 з.п. ф-лы, 6 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента