|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ИСТОЧНИК ИНТЕНСИВНЫХ ИОННЫХ ПУЧКОВ |  |
Номер публикации патента: 2075132 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01J027/26 H01J037/08 | | Аналоги изобретения: | 1. R. Gomer. On the Mechanism of Liguid Metal Electron and Ion Sour Appl. Phys., V.19. 1979, p.365 - 375. 2. В.Г. Дудников, А.П. Шабалин. Получение ионных пучков из расплавов диэлектриков в режиме электродинамического эмиттера. Письма в ЖТФ, т. 11, в.13. с.808 - 812. |
| Имя заявителя: | Научно-исследовательский институт электрофизической аппаратуры им.Д.В.Ефремова | | Изобретатели: | Ройфе И.М. | | Патентообладатели: | Научно-исследовательский институт электрофизической аппаратуры им.Д.В.Ефремова |
Реферат | |
Использование: в ускорительной технике и в технологических процессах при имплантации, нанесении покрытий. Сущность изобретения заключается в введении жидкого диэлектрика в конструкцию источника ионов, что позволяет повысить интенсивность генерируемого пучка заряженных частиц за счет концентрации электрического поля на возникающих неоднородностях поверхности эмиттера и ионизации паров жидкости в тлеющем разряде. Источник интенсивных ионных пучков содержит соосно расположенные электрод-экстрактор и эмиттер, выполненный в виде острийных токовводов, смачиваемых диэлектрической жидкостью, давление остаточных паров которой достаточно для зажигания в межэлектродном промежутке тлеющего разряда. 1 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента