На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЗОНДИРУЮЩЕГО ЭМИТТЕРА ДЛЯ ТУННЕЛЬНОЙ МИКРОСКОПИИ | |
Номер публикации патента: 2058612 | |
Редакция МПК: | 6 | Основные коды МПК: | H01J037/285 | Аналоги изобретения: | Биннинг Г. Рорер Г. Сканирующая туннельная микроскопия. УФН, т. 154, вып. 2, с.261-278. Эдельман В. С. Сканирующая туннельная микроскопия. Обзор. ПТ9, N 5, 1989, с.25-40. Васильев С. И. Зондирующие эмиттеры для сканирующей туннельной микроскопии. Электронная микроскопия, 1991. N 3, с.42. |
Имя заявителя: | Институт теоретической и экспериментальной физики | Изобретатели: | Зайцев С.В. | Патентообладатели: | Институт теоретической и экспериментальной физики |
Реферат | |
Использование: в эмиссионной электронике, в технологии изготовления зондов для туннельных микроскопов и образцов для автоэмиссионной микроскопии. Сущность изобретения: с целью упрощения процесса и получения зондов с гладкой поверхностью (что способствует снижению фона) у кончика предварительно утоненной проволочной заготовки за счет электрического разряда в инертной атмосфере создают шарик, а затем импульсным электротравлением создают "шейку" у основания шарика. При отрыве шарика образуется конструкция в виде тонкого столбика на относительно толстом гладком острие. Положительный эффект: упрощение способа за счет исключения специального оборудования и повышения удобства работы, а также исключение концентраторов электрического поля, которые в сильных полях приводят к паразитной эмиссии и созданию фона. 2 ил.
|