|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ДИАГНОСТИКИ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОГО СЛОЯ НА ПРОВОДЯЩЕЙ ПОВЕРХНОСТИ |  |
Номер публикации патента: 2047930 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01J037/285 | | Аналоги изобретения: | 1. Патент Швейцарии N 643397, кл. H 01 J 37/285, 1981. |
| Имя заявителя: | Институт микроэлектроники РАН | | Изобретатели: | Мордвинцев В.М.
Левин В.Л. | | Патентообладатели: | Институт микроэлектроники РАН |
Реферат | |
Использование: методы исследования тонких пленок и поверхности твердого тела при помощи СТМ. Сущность изобретения: объект помещают в туннельный зазор СТМ, сканируют напряжением U на туннельном зазоре в диапазоне, охватывающем как туннельный, так и эмиссионный режимы работы СТМ с учетом Uкр соответствующего скачку величины зазора в сторону меньших значений при уменьшении U.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента