|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ КОНТРОЛЯ ПРОВОДЯЩЕЙ ПОВЕРХНОСТИ |  |
Номер публикации патента: 2019883 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01J037/28 | | Аналоги изобретения: | Васильев С. и др. Сканирующий туннельный микроскоп для исследования структурно-неоднородных поверхностей. Письма в ЖТФ, 1987, т.13, вып.15, с.937-941. |
| Имя заявителя: | Санкт-Петербургский государственный университет | | Изобретатели: | Егоров Н.В.
Жуков В.М. | | Патентообладатели: | Санкт-Петербургский государственный университет |
Реферат | |
Использование: изобретение относится к электронной технике и может быть применено в сканирующих микроскопах. Цель изобретения - повышение производительности контроля. Сущность изобретения: согласно способу электрод перемещают по круговым концентрическим траекториям, радиусы которых удовлетворяют условию, описанному в описании, и измеряют напряжение между электродом и поверхностью, требуемое для получения фиксированного тока автоэлектронной эмиссии.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента