Журавлев Б.И., Захаров А.С. и Никитинский В.А. Источник ионов с равномерным распределением плотности тока по сечению пучка. -Электронная обработка материалов, 1981, N 4, с.74-76.
Имя заявителя:
Рубежанский филиал Луганского машиностроительного института