СОРОКИН А.Р. Сильноточный электронный пучок в разряде с полым катодом и рабочим давлением до 100 Torr. ПЖТФ, 2007, т.33, 9, с.70-78. RU 2299489 С1, 20.05.2007. RU 2241278 С1, 27.11.2004. US 4737885 А, 12.04.1988.
Имя заявителя:
Институт физики полупроводников Сибирского отделения Российской академии наук (RU)
Изобретатели:
Сорокин Александр Разумникович (RU)
Патентообладатели:
Институт физики полупроводников Сибирского отделения Российской академии наук (RU)
Реферат
Изобретение относится к электронике и может быть использовано в физической электронике, квантовой электронике, плазмохимии, диагностических измерениях. Способ получения электронного пучка заключается в том, что путем подачи напряжения питания между катодом и анодом зажигают высоковольтный разряд в газоразрядной ячейке. В промежуток между катодом и анодом осуществляют дополнительный приток ионов, который обеспечивают дополнительной ионизацией газа вспомогательным электронным пучком, электроны которого ускоряют в сильном поле высоковольтного разряда. Вспомогательный электронный пучок формируют по периметру поверхности катода с внутренней стенки кольцевого электрода. Устройство для получения электронного пучка содержит катод и анод, размещенные в газоразрядной ячейке, и высоковольтный источник питания, который подсоединен к катоду и аноду. На внутренней поверхности катода выполнен кольцевой электрод, с внутренней стенки которого формируют вспомогательный электронный пучок. Плоская часть кольцевого электрода со стороны анода для уменьшения тока разряда на нее прикрыта диэлектрической пластиной с отверстием, совпадающим по диаметру с внутренним диаметром кольцевого электрода. Технический результат: расширение диапазона рабочего давления газа, а также обеспечение повышенной устойчивости разряда по отношению к искрообразованию. 3 н. и 2 з.п. ф-лы, 7 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента