|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ИОНОВ И ИСТОЧНИК ИОНОВ ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ |  |
Номер публикации патента: 95110327 |  |
| Вид документа: | A1 | | Страна публикации: | RU | | Рег. номер заявки: | 95110327 |
|
|
|
| Имя заявителя: | Государственный НИИ прикладной механики и электродинамики Московского авиационного института | | Изобретатели: | Александров А.Ф.
Антонова Т.Б.
Бугров Г.Э.
Воробьев Н.Ф.
Кондранин С.Г.
Кралькина Е.А.
Обухов В.А.
Попов Г.А.
Руха |
Реферат | |
Для получения пучка ионов в разрядном объеме осуществляют генерацию плазмы путем возбуждения в нем безвихревой электрической компоненты высокочастотного поля и аксиально симметричного стационарного магнитного поля, которое создают неоднородным, спадающим к оси симметрии разрядного объема. В генерируемой плазме возбуждают собственные электростатические волны путем выбора величины индукции стационарного магнитного поля в разрядном объеме, мощности и частоты высокочастотного поля при заданном значении плотности ионного тока. Выполнение данных условий определяет высокую эффективность получения пучка ионов, которая характеризуется энергетической и газовой эффективностью реализующего способ источника ионов за счет наиболее полного использования вводимой в разрядную камеру высокочастотной мощности.
|
Поиск патентов