Изобретение относится к устройствам для ввода энергии ионизации в ионный или электронный источник с индуктивным или индуктивно-емкостным возбуждением. Заявленное устройство включает в себя разрядную камеру для ионизируемого газа, намотанную вокруг разрядной камеры катушку связи для подвода высокочастотной энергии, необходимой для возбуждения плазмы, конденсатор связи, электрически связанный с катушкой связи, высокочастотный генератор, электрически связанный с катушкой связи. Высокочастотный генератор вместе по меньшей мере с одним конденсатором связи образует резонансный контур. Кроме того, высокочастотный генератор снабжен регулятором с фазовой автоподстройкой частоты для автоматического согласования полного сопротивления резонансного контура. Техническим результатом является обеспечение возможности работы резонансного контура с резонансной частотой. 25 з.п. ф-лы, 15 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента