Метель А.С., Мельник Ю.А. Особенности генерации плазмы в источнике быстрых молекул с полым анодом снаружи его электростатической ловушки. -Инженерная физика. 2005, вып.2, с.26-29. RU 94025083 A1, 27.05.1996. RU 2039843 C1, 20.07.1995. RU 2299489 C1, 20.05.2007. US 3955118 A, 04.05.1976.
Имя заявителя:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Московский государственный технологический университет "СТАНКИН" (ГОУ ВПО МГТУ "СТАНКИН") (RU)
Изобретатели:
Григорьев Сергей Николаевич (RU) Метель Александр Сергеевич (RU) Мельник Юрий Андреевич (RU) Панин Виталий Вячеславович (RU)
Патентообладатели:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Московский государственный технологический университет "СТАНКИН" (ГОУ ВПО МГТУ "СТАНКИН") (RU)
Реферат
Изобретение относится к вакуумно-плазменной технике. Источник быстрых нейтральных атомов содержит рабочую вакуумную камеру, эмиссионную сетку, ограниченный эмиссионной сеткой и соединенный с ней электрически холодный полый катод, боковая поверхность которого перпендикулярна эмиссионной сетке, анод, источник питания разряда, положительным полюсом соединенный с анодом, а отрицательным полюсом соединенный с полым катодом, и источник напряжения смещения, положительным полюсом соединенный с рабочей вакуумной камерой, а отрицательным полюсом соединенный с полым катодом. Источник дополнительно содержит соленоид, установленный с возможностью обхвата полого катода с возможностью формирования магнитного поля внутри полого катода вблизи его боковой поверхности перпендикулярно эмиссионной сетке, при этом поперечный размер эмиссионной сетки превышает ширину боковой поверхности полого катода более чем в 2 раза. При работе такого источника неоднородность распределения тока пучка не превышает ±10%, а отношение тока пучка к разрядному току повышается до 20-30%. 2 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента