|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| УСТРОЙСТВО ВЫСОКОЧАСТОТНОЕ ДЛЯ ВАКУУМНО - ПЛАЗМЕННОЙ ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТИ |  |
Номер публикации патента: 2263995 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01J027/18 | | Аналоги изобретения: | RU 2095877 С1, 10.11.1997. RU 2133998 C1, 27.07.1999. US 4948458 А, 14.08.1990. ЕР 0474584 А2, 11.03.1992. |
| Имя заявителя: | Кошкин Валерий Викторович (RU) | | Изобретатели: | Кошкин В.В. (RU) | | Патентообладатели: | Кошкин Валерий Викторович (RU) |
Реферат | |
Использование: в ионно-плазменных технологиях обработки материалов. Сущность изобретения: устройство для ВЧ-ионно-плазменной обработки поверхности твердого тела, включающее ВЧ-генератор, реактор и магнитную систему. Для создания направленного потока ионов высокой плотности на обрабатываемую поверхность использована магнитная система, состоящая из двух кольцевых магнитов верхнего и нижнего, магнитные полюса которой разной полярности замкнуты магнитопроводом с наружной стороны реактора.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента