|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ИОННЫХ ПУЧКОВ ЩЕЛОЧНЫХ МЕТАЛЛОВ |  |
Номер публикации патента: 2148870 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01J027/26 H01J049/16 C23C014/46 | | Аналоги изобретения: | User's guide JMS-4F, Cameca (France), 1988, p.4.1. RU 94008314 A1, 27.10.95. RU 2012089 C1, 30.04.94. DE 2805273 B2, 25.06.81. DE 3605735 A1, 30.10.86. US 4994711 A, 19.02.91. P.Williams, R.K.Zewis, C.A.Evans, P.R.Hanlly, "Evaluation of a cesium primapy ion source on an ion microprobemass spectrometer" Anal.chem., 1977, v.49, N 9, p.1399-1403. Поверхностные методы ионизации в масс-спектрометрии. Сборник. - Уфа, БФ АН СССР, 1986, с.5-26. |
| Имя заявителя: | Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН | | Изобретатели: | Пустовит А.Н.
Загороднев В.Н.
Вяткин А.Ф.
Личкова Н.В. | | Патентообладатели: | Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН |
Реферат | |
Изобретение относится к получению ионных пучков и может быть использовано в ускорительной технике, масс-спектрометрии и т.п. Способ включает нагрев двух солей металла, а именно галогенидов, карбонатов или нитратов, до температуры испарения в вакууме, подведение полученных паров по трубке к нагретой до температуры ионизации щелочного металла поверхности вольфрамого ионизатора. При этом соотношении количества одной соли к другой не превышает 1: 2. Техническим результатом является возможность осуществить процесс получения ионных пучков щелочных металлов в течение большого количества рабочих циклов, не выводя из строя устройство, и с более низкими энергозатратами по сравнению со способом-прототипом (экономия 15%).
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента