|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ПОЛЕВОЙ ИОННЫЙ ИСТОЧНИК |  |
Номер публикации патента: 2071138 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01J027/26 H01J037/08 | | Аналоги изобретения: | Авторское свидетельство СССР N 1463051, кл. H 01 J 27/00, 1987, фиг.2. Мюллер. Полевой ионный микроскоп с атомным зондом. Методы анализа поверхности.- М.: Мир, 1979, с. 436 - 437, фиг. 14. |
| Имя заявителя: | Научно-экспертное общество "Эльтрон" | | Изобретатели: | Ковалев Л.К. | | Патентообладатели: | Научно-экспертное общество "Эльтрон" |
Реферат | |
Использование: электронная техника, в частности технологические устройства для осаждения многослойных тонкопленочных структур испарением исходных материалов в вакууме. Сущность изобретения: в зоне прямой видимости острия автокатода располагается карусель с размещенными на ней мишенями исходных испаряемых материалов, на поверхность которых в одной из позиций карусели может воздействовать сфокусированный, сканирующий импульсный лазерный луч.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента