На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
ЭЛЕКТРОГИДРОДИНАМИЧЕСКИЙ ИСТОЧНИК ИОНОВ | |
Номер публикации патента: 2036531 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | H01J027/26 H01J027/22 H01J037/08 | Аналоги изобретения: | 1. Дудников В.Г. и Шабалин А.Д. Электрогидродинамический источник. - ПТЭ, 1986, N 5, с.149-152. |
Имя заявителя: | Коптелов Сергей Сергеевич,Власенко Михаил Иванович | Изобретатели: | Коптелов Сергей Сергеевич Власенко Михаил Иванович | Патентообладатели: | Коптелов Сергей Сергеевич Власенко Михаил Иванович |
Реферат | |
Использование: получение пучков заряженных частиц, в частности ионов, заряженных кластеров и микрокапель, получение субмикронных ионных пучков, а также для нанесения тонких пленок и покрытий кластерными и микрокапельными пучками. Сущность изобретения: уменьшение потерь рабочего вещества за счет уменьшения его испарения с боковой поверхности иглы, что особенно важно при работе с веществами, имеющими большое давление паров (до 10 Па) при рабочей температуре, и уменьшение гидродинамического импеданс
|