|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ИСТОЧНИК ИОНОВ |  |
Номер публикации патента: 2034356 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01J027/04 H01J037/08 | | Аналоги изобретения: | 1. Rose P.H. The evolution of Ion sources for implanters. - Rev. Sci Instrum, 1990, vol.61, N 1, p.343, fig 3. |
| Имя заявителя: | Российский научный центр "Курчатовский институт" | | Изобретатели: | Маков Б.Н. | | Патентообладатели: | Российский научный центр "Курчатовский институт" |
Реферат | |
Использование: в технологических целях для имплантации ионов, электромагнитного разделения изотопов и в других приложениях. Сущность изобретения: источник ионов выполнен в виде однопотенциального блока, состоящего из разрядной камеры 1, крышки 2, катода 3, а при использовании осциллирующего режима дугового разряда - электрода-отражателя 6.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента