|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ МНОГОКОМПОНЕНТНОГО ПУЧКА ИОНОВ |  |
Номер публикации патента: 2009569 |  |
| Имя заявителя: | Сибирский химический комбинат | | Изобретатели: | Венедиктов А.Н.
Зюзин А.В.
Муранов Е.Н.
Филин И.А. | | Патентообладатели: | Сибирский химический комбинат |
Реферат | |
Использование: в установках ионной имплантации ионного напыления. Сущность изобретения: для получения многокомпонентного пучка ионов заданного химического состава распыляемые элементы мишени выполнены из химических соединений, несовместимых в твердой фазе. Отношение площадей поверхностей распыляемых материалов выбрано обратно пропорциональным коэффициентам их распыления и прямо пропорциональным требуемому процентному содержанию ионов каждого химического соединения в пучке.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента