На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
ИСТОЧНИК ИОНОВ | ![](Images/non.gif) |
Номер публикации патента: 2008739 | ![](Images/empty.gif) |
Имя заявителя: | Научно-производственное предприятие "НОВАТЕХ" | Изобретатели: | Метель А.С. | Патентообладатели: | Научно-производственное предприятие "НОВАТЕХ" |
Реферат | ![](Images/empty.gif) |
Использование: для обработки изделий в вакуумной камере пучком большего сечения ионов или быстрых нейтральных молекул инертных и химически активных газов с целью очистки и повышения адгезии наносимых покрытий, распыления материалов, ионно-химического травления, полировки поверхности, а также с целью упрочнения и модификации поверхности имплантацией ускоренных частиц.
|