|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| КАТОД ДЛЯ РАСПЫЛЕНИЯ ИЛИ ЭЛЕКТРОДУГОВОГО ИСПАРЕНИЯ (ВАРИАНТЫ) И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОКРЫТИЯ ИЛИ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ ПОДЛОЖЕК |  |
Номер публикации патента: 2168233 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01J023/04 H01J025/50 C23C014/35 | | Аналоги изобретения: | SU 711787 A, 07.10.1980. RU 2053311 C1, 27.01.1996. RU 2063474 C1, 10.07.1996. RU 2089657 C1, 10.09.1997. US 4478702 A, 23.10.1984. US 4933064 A, 12.06.1990. GB 2255105 A, 28.10.1992. GB 2227030 A, 18.07.1990. FR 2689143 A1, 01.10.1993. |
| Имя заявителя: | ВЭЙПОР ТЕКНОЛОДЖИЗ, ИНК. (US) | | Изобретатели: | ВЕЛТИ Ричард П. (US) | | Патентообладатели: | ВЭЙПОР ТЕКНОЛОДЖИЗ
ИНК. (US) |
Реферат | |
Изобретение относится к физике, а именно к катодам магнетронов. Описан линейный катод магнетрона, который может использоваться как источник пара или плазмы для осаждения покрытия или ионной обработки. Катод имеет форму удлиненного прямоугольного стержня с испарением материала, происходящим с испаряемой поверхности, расположенной по периферии стержня, по двум противоположным сторонам и вокруг обоих торцов.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента