На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЯ ИЗ НИТРИДА АЛЮМИНИЯ | |
Номер публикации патента: 2089961 | |
Редакция МПК: | 6 | Основные коды МПК: | H01J001/88 H01J023/24 | Аналоги изобретения: | 1. Гаврилов М.В. и др. Поиск компромиссных решений при проектировании и разработке современных ЛБВ (8-я зимняя школа - семинар инженеров). - Изд-во Саратовского университета, 1989, кн.3, с. 152. 2. Авторское свидетельство СССР N 618450, кл. C 23 C 11/08, 1976. |
Имя заявителя: | Московский институт электронной техники | Изобретатели: | Баровский Н.В. Герцен А.Т. Добрынин А.В. Найда Г.А. Рувинский Г.В. | Патентообладатели: | Московский институт электронной техники |
Реферат | |
Использование: для изготовления опорных элементов замедляющих систем ЛБВ. Сущность изобретения: способ включает нанесение покрытия из нитрида алюминия на молибденовый стержень, который предварительно травят в смеси перекиси водорода и едкого натра (1-5%) и отжигают в аммиаке не менее 15 мин при температуре осаждения. Покрытие из нитрида алюминия достигает толщины 50-200 мкм при толщине отдельного слоя 5-15 мкм. С целью снижения сквозной пористости и увеличения межслойного сцепления перед нанесением очередного слоя нитрида алюминия весь элемент охлаждают до комнатной температуры не менее 15 мин. Теплопроводность покрытий составляет не менее 100 Вт/м.К, диэлектрическая прочность 50 кВ/см, адгезия не ниже 2 кг/мм2. 1 табл., 1 ил.
|