|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| УНИВЕРСАЛЬНЫЙ ДУГОВОЙ ИСТОЧНИК ВУФ - ФОТОНОВ И ХИМИЧЕСКИ АКТИВНЫХ ЧАСТИЦ |  |
Номер публикации патента: 2324255 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01J017/02 H01J037/02 | | Аналоги изобретения: | Донин В.И. ЖЭТФ, 1972, т.62, в.5, с.1648. SU 289458 A1, 01.01.1971. RU 2253194 C1, 27.05.2005. WO 2005013341 A1, 10.02.2005. |
| Имя заявителя: | Институт автоматики и электрометрии Сибирского отделения Российской Академии наук (RU) | | Изобретатели: | Донии Валерий Ильич (RU) | | Патентообладатели: | Институт автоматики и электрометрии Сибирского отделения Российской Академии наук (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к источникам ВУФ-фотонов и химически активных частиц, предназначенным для поверхностной обработки ВУФ-излучением, а также для плазмохимического травления и наращивания материалов на подложках с большой общей обрабатываемой площадью. Универсальный дуговой источник ВУФ содержит разрядную трубку из охлаждаемых металлических секций с защитным покрытием, холодный дуговой катод с удержанием катодных пятен дуги внутри рабочей полости, анод, систему откачки и напуска рабочего газа,
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента