|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| КАТОДНЫЙ УЗЕЛ |  |
Номер публикации патента: 2089661 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | C23C014/42 H01J017/02 | | Аналоги изобретения: | 1. Патент ФРГ N 3619194, кл. C 23 C 14/36, 1987. 2. Авторское свидетельство СССР N 2997709, кл. C 23 C 14/42, 1971. |
| Имя заявителя: | Московский государственный институт электроники и математики (технический университет) | | Изобретатели: | Ивашов Е.Н.
Кондрашов П.Е.
Оринчев С.М.
Слепцов В.В.
Степанчиков С.В. | | Патентообладатели: | Московский государственный институт электроники и математики (технический университет) |
Реферат | |
Сущностью изобретения является катодный узел, в котором элементы напуска газа выполнены в виде двух блоков, расположенных по периферии электрода-мишени, совмещенного с подложкой. Блоки выполнены с возможностью последовательной подачи через них инертных и активных газов посредством золотниковой системы, магнитная система выполнена с возможностью регулирования индукции магнитного поля от нуля до максимальной эксплутационной величины. Подложка имеет трафарет, установленный с возможностью перемещения относительно подложки. 1 з.п. ф-лы 4 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента