|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ВАКУУМНОЙ ОБРАБОТКИ ДЕТАЛЕЙ ИЛИ УЗЛОВ ЭЛЕКТРОВАКУУМНЫХ ПРИБОРОВ |  |
Номер публикации патента: 1774778 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01J009/38 | | Аналоги изобретения: | Авторское свидетельство СССР N 1701059, кл. H 01J 9/38, 1989. |
| Имя заявителя: | Новосибирский электротехнический институт | | Изобретатели: | Лисицына Л.И.
Ласточкина Л.П.
Кузнецова Л.А.
Чушикина В.И.
Суворова М.И. | | Патентообладатели: | Новосибирский государственный технический университет
Лисицына Лилия Ивановн |
Реферат | |
Сущность изобретения: возбуждают в объеме атмосферы рабочего газа, контактирующего с обрабатываемой поверхностью, высокочастотный разряд для очистки поверхности, который поддерживают до момента начала травления очищенной поверхности, определяют по предварительно снятому контрольному графику изменение давления в объеме. 2 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента