Wu Z.-S., Pei S.F., Ren W., Tang D., Gao L., Liu В., Li F., Liu C. and Cheng H.-M. «Field Emission of Single-Layer Graphene Films Prepared by Electrophoretic Deposition» // Adv. Mater. - 2009. - V.21. - P.P.1756-1760,. RU 2161838 C2, 10.01.2001. RU 2346090 C2, 10.02.2009. RU 2126187 C1, 10.02.1999. US 659683 B1, 15.07.2003. US 2007013286A1, 18.01.2007. US 2005264155 A1, 11.12.2005. CN 1560889 A, 05.01.2005. US 2007284986 A1, 13.12.2007.
Имя заявителя:
Учреждение Российской академии наук Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения РАН (ИФП СО РАН) (RU)
Изобретатели:
Принц Виктор Яковлевич (RU) Мутилин Сергей Владимирович (RU) Голод Сергей Владиславович (RU)
Патентообладатели:
Учреждение Российской академии наук Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения РАН (ИФП СО РАН) (RU)
Реферат
Изобретение относится к области электротехники, в частности к способу формирования графеновых полевых эмиттеров, используемых в различных электровакуумных устройствах, базирующихся на эмиссии электронов. В предложенном способе изготавливают пленочные плоские элементы, содержащие формообразующий и функциональный графеновые слои. При этом плоские пленочные элементы формируют на подложке с требуемым расположением по ее площади, в частности, регулярным. Затем пленочные плоские элементы отделяют от подложки и трансформируют их в эмиттеры с заданной трехмерной пространственной конфигурацией. Трансформацию осуществляют за счет действия механических внутренних напряжений, которые вводят в формообразующие слои либо при изготовлении пленочных плоских элементов, либо при трансформации, либо при отделении и трансформации плоских элементов в эмиттеры. Изготовленные по предложенному способу эмиттеры прецизионно расположены над подложкой и обладают прецизионно заданной пространственной конфигурацией и геометрическими размерами. Однородность эмиссии электронов по массиву эмиттеров, требуемая плотность эмиссии электронов, ее управляемость, масштабируемость размеров эмиттеров, оптимизация формы эмиттеров иерархической структуры, управляемость током эмиссии каждого из эмиттеров являются техническим результатом изобретения. 15 з.п. ф-лы, 9 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента