На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Вернуться к списку

СПЕКТРОМЕТР ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ

Номер публикации патента: 94025312

Вид документа:  A1  Страна публикации:  RU  Рег. номер заявки:  94025312

Реферат

Изобретение относится к области электронной и ионной спектроскопии поверхности твердых тел, а также газов. Спектрометр состоит из осесимметричного энергоанализатора типа "электростатического зеркала" с осью симметрии Z, плоского позиционно-чувствительного детектора (ПЧД), расположенного перпендикулярно оси Z, и образца, центр области эмиссии которого находится на оси Z. Полезадающие электроды имеют вид двух электрически изолированных друг от друга соосных круговых конических поверхностей с общей вершиной. Входная и выходная кольцевая диафрагмы вырезаны во внутреннем электроде так, что границы их располагаются в плоскостях, перпендикулярных оси Z. Входная диафрагма уже, чем выходная и расположена ближе к общей вершине конусов. Центр источника эмиссии находится на оси, в средней плоскости входной диафрагмы. Воспринимающая поверхность ПЧД находится дальше от вершины конусов, чем любая из диафрагм, с той же стороны оси Z , что и эти диафрагмы. Устройство позволяет одновременно регистрировать спектры эмиссии частиц, летящих из источника в любом направлении вблизи определенной плоскости, перпендикулярной оси Z. Это позволит, например, исследовать зависимость Е() энергии электрона от его волнового вектора вблизи выбранной кристаллографической плоскости одновременно по всем направлениям, лежащим в этой плоскости, и в конечном диапазоне энергий δE.. При размерах прибора около 700 мм, диаметре источника эмиссии 0,35 мм разрешение 0,08%< 0,08%≲&Dgr;E/E≲0,13% < 0,13% в диапазоне 2%< 2%≲δE/E≲3,5%. <3,5%.

Вернуться к списку