SU 1756973 A, 29.08.1992. SU 1178257 A1, 27.01.1996. RU 2190459 C2, 10.10.2002. US 6815674 B1, 09.11.2004. JP 5315082 A, 26.11.1996. WO 03073462 A1, 04.09.2003.
Имя заявителя:
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Иркутский государственный технический университет" (ФГБОУ ВПО "ИрГТУ") (RU)
Изобретатели:
Строкин Николай Александрович (RU) Астраханцев Николай Вениаминович (RU) Бардаков Владимир Михайлович (RU) Во Ньы Зан (RU) Кичигин Геннадий Николаевич (RU) Лебедев Николай Валентинович (RU)
Патентообладатели:
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Иркутский государственный технический университет" (ФГБОУ ВПО "ИрГТУ") (RU)
Реферат
Изобретение относится к способам и устройствам, обеспечивающим анализ потоков заряженных частиц по энергиям и массам с помощью электромагнитных полей, и может быть использовано при изучении поверхностей твердых тел, для определения элементного или изотопного состава плазмы рабочего вещества. Технический результат изобретения - расширение функциональных возможностей энерго-масс-анализаторов заряженных частиц - достигается тем, что анализ по энергиям и массам ведут в совмещенных радиальных электрическом поле энергоанализатора Юза-Рожанского и магнитном поле фильтра Вина и поперечном к ним продольном электрическом поле фильтра Вина, энергоанализатор Юза-Рожанского и фильтр Вина совмещены в одной конструкции, при этом фильтр Вина выполнен цилиндрическим. Детектор ионов и расстояние между цилиндрическими пластинами определяются условиями фокусировки целевых ионов. 2 н.п. ф-лы, 4 ил.