Промышленная Сибирь Ярмарка Сибири Промышленность СФО Электронные торги НОУ-ХАУ Электронные магазины Карта сайта
 
Ника
Ника
 

Поиск патентов

Как искать?
Реферат
Название
Публикация
Регистрационный номер
Имя заявителя
Имя изобретателя
Имя патентообладателя

    





Оформить заказ и задать интересующие Вас вопросы Вы можете напрямую c 6-00 до 14-30 по московскому времени кроме сб, вс. whatsapp 8-950-950-9888

На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»


ИСТОЧНИК БЫСТРЫХ НЕЙТРАЛЬНЫХ ЧАСТИЦ

Номер публикации патента: 2395133

Вид документа: C1 
Страна публикации: RU 
Рег. номер заявки: 2009108122/28 
  Сделать заказПолучить полное описание патента

Редакция МПК: 
Основные коды МПК: H01J037/08    
Аналоги изобретения: US 6130507 А, 10.10.2000. US 6002208 А, 14.12.1999. US 5350920 А, 27.09.1994. RU 2030807 С1, 10.03.1995. 

Имя заявителя: Учреждение РАН Физико-технологический институт РАН (RU) 
Изобретатели: Маишев Юрий Петрович (RU)
Шевчук Сергей Леонидович (RU)
Терентьев Юрий Петрович (RU)
Кудря Владимир Петрович (RU) 
Патентообладатели: Учреждение РАН Физико-технологический институт РАН (RU) 

Реферат


Изобретение относится к технике получения пучков быстрых нейтральных частиц, в частности пучков нейтральных атомов, радикалов и молекул, и может быть использовано для распыления, травления и осаждения тонких пленок различных материалов. Источник быстрых нейтральных частиц имеет базовую конструкцию, которая содержит ионный источник с холодным катодом и замкнутым дрейфом электронов и нейтрализатор, выполненный в виде внешних и внутренних коаксиальных поверхностей, образующих в совокупности щелевой канал определенной длины, сопряженный с замкнутой выходной щелью источника. Технический результат - увеличение степени нейтрализации выходного пучка и его интенсивности. 12 з.п. ф-лы, 19 ил.

Дирекция сайта "Промышленная Сибирь"
Россия, г.Омск, ул.Учебная, 199-Б, к.408А
Сайт открыт 01.11.2000
© 2000-2018 Промышленная Сибирь
Разработка дизайна сайта:
Дизайн-студия "RayStudio"