|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| МАГНЕТРОННАЯ РАСПЫЛИТЕЛЬНАЯ СИСТЕМА |  |
Номер публикации патента: 2151439 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01J037/317 H01J037/34 | | Аналоги изобретения: | КОСТРЖИЦКИЙ А.И. и др. Справочник оператора установок по нанесению покрытий в вакууме. - М.: Машиностроение, 1991, с. 18 и 19. RU 2091989 C1, 27.09.1997. RU 2085586 C1, 20.08.1997. US 5068539 A, 26.11.1991. US 5053627 A, 01.10.1991. US 4361762 A, 30.11.1982. |
| Имя заявителя: | Научно-исследовательский институт ядерной физики при Томском политехническом университете | | Изобретатели: | Ананьин П.С.
Косицын Л.Г.
Кривобоков В.П.
Кузьмин О.С.
Легостаев В.Н. | | Патентообладатели: | Научно-исследовательский институт ядерной физики при Томском политехническом университете |
Реферат | |
Магнитная распылительная система (МРС) относится к области плазменной техники и предназначена для нанесения тонких пленок на поверхность твердых тел, преимущественно листовых материалов. МРС, как и прототип содержит анод, являющийся корпусом системы, катодный узел и кассету для обрабатываемого материала. Катодный узел представляет собой магнитный блок, закрытый плоской распыляемой мишенью с возможностью поджигания тлеющего разряда между катодным узлом и анодом. В предлагаемой системе магнитный блок выполнен в виде магнитопроводного каркаса, пространство между ребрами которого заполнено постоянными магнитами. Такое выполнение магнитного блока дает возможность поджигания тлеющего разряда по меньшей мере с двух симметричных его сторон, каждая из которых закрыта распыляемой плоской мишенью. При этом кассета с обрабатываемыми образцами может быть установлена с каждой (или любой) стороны магнитного блока, где возможно поджигание разряда. Техническим результатом является увеличение производительности системы без увеличения ее весогабаритных характеристик. 2 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента