SU 879664, 09.11.1981. US 2010246090 А1, 30.09.2010. WO 2007010681 A1, 25.01.2007. JP 6302764 A, 28.10.1994.
Имя заявителя:
Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт полупроводниковых приборов" (ОАО "НИИПП") (RU), Открытое акционерное общество "Центральное конструкторское бюро автоматики" (ОАО "ЦКБА") (RU)
Изобретатели:
Вольхин Юрий Николаевич (RU) Глущенко Виталий Александрович (RU) Семёнов Анатолий Васильевич (RU) Хан Александр Владимирович (RU) Янковская Юлия Владимировна (RU)
Патентообладатели:
Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт полупроводниковых приборов" (ОАО "НИИПП") (RU) Открытое акционерное общество "Центральное конструкторское бюро автоматики" (ОАО "ЦКБА") (RU)
Реферат
Изобретение относится к пленочным конденсаторам постоянной емкости. Техническим результатом изобретения является уменьшение разброса параметров отдельных конденсаторов при их изготовлении. Согласно изобретению тонкопленочный разделительный конденсатор для поверхностного монтажа в полосковые линии передачи содержит последовательно соединенные подложку, изготовленную из полуизолирующего полупроводника электронного типа проводимости, нижняя и средняя части которой имеют одинаковое прямоугольное сечение, проводящий слой, изготовленный из эпитаксиального высоколегированного полупроводника электронного типа проводимости, изолирующий слой и две металлические контактные площадки прямоугольной формы, разделенные между собой зазором и выполнен в виде двухступенчатого пьедестала, нижняя прямоугольная ступень которого содержит нижнюю и среднюю части подложки, а вторая ступень, выполненная в виде четырехугольной усеченной пирамиды, содержит верхнюю часть подложки, проводящий слой, изолирующий слой, нанесенный на всю внешнюю поверхность пирамиды, и две металлические контактные площадки, верхняя, плоская, часть первой ступени пьедестала также покрыта изолирующим слоем, являющимся продолжением изолирующего слоя пирамиды, нанесенным одновременно с нанесением изолирующего слоя на пирамиду, и со стороны нижней поверхности подложки дополнительно нанесен защитно-упрочняющий слой металла. 4 з.п. ф-лы, 2 ил.